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產(chǎn)品資料

光譜橢偏儀

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號(hào): SE-VE
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

SE-VE橢偏儀是基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。


光譜橢偏儀  的詳細(xì)介紹

一、目的

本設(shè)備基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/DeltaN/C/S、反射率等光譜,可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。

 

二、測(cè)量系統(tǒng)規(guī)格

SE-VE光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)

  1. 橢偏儀測(cè)頭規(guī)格:

  1. 光譜范圍:400-800nm

  2. 入射角:65°

  3. 斑大?。?/span>2-3mm

  4. 調(diào)制技術(shù):PCRSA調(diào)制技術(shù)

  5. 膜厚重復(fù)性測(cè)量精度:0.05nm100nm 硅基SiO2樣件,30次重復(fù)測(cè)量1σ

  6. 折射率測(cè)量精度:0.001100nm 硅基SiO2樣件,30次重復(fù)測(cè)量1σ

  7. 膜厚測(cè)量范圍:0.1nm10μm

  8. 單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間:5s

  9. 光源:高性能進(jìn)口鹵素?zé)艄庠矗u素?zé)魤勖?/span>2,000h

  10. 可視化樣品顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

     

    1光譜橢偏測(cè)頭原理圖

     

    2  SE-VE光譜橢偏儀實(shí)物圖

  1. 樣品臺(tái)規(guī)格:

  1. 基板尺寸:*大支持樣件尺寸到8inch晶圓 可定制

  2. Z位移行程0-10mm

  3. 樣件臺(tái)俯仰角度> ±2°

  1. 測(cè)控與分析軟件

  1. 光譜測(cè)量能力:PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測(cè)量

  2. 數(shù)據(jù)分析能力:具備單層、多層膜厚、光學(xué)常數(shù)(折射率、消光系數(shù))分析能力

  3. 支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),并支持圖形化多振子混合模型擬合功能

  4. 支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、組分比例分析功能; 核心算法包含嚴(yán)格耦合波模型、等效介質(zhì)模型

  5. 支持用戶自定義,軟件不限制拷貝數(shù)量,支持windows10操作系統(tǒng)

  1. 測(cè)控與分析計(jì)算機(jī)

  1. 操作系統(tǒng):WIN10  64

  2. CPU處理器:Intel 酷睿I3

  3. 內(nèi)存:4G

  4. 硬盤:500G

  5. 顯示器:19

  1. 配件

  1. 標(biāo)準(zhǔn)SiO2/Si標(biāo)樣

  2. 標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套

  1. 環(huán)境要求

  1. 橢偏儀承載臺(tái):尺寸>1.5m(長(zhǎng))× 1.0 m(寬),承載能力大于50Kg(建議光學(xué)隔振)

  2. 使用溫度范圍:20 ~ 26

  3. 相對(duì)濕度:35% ~ 60% RH

  4. 空氣壓力范圍:750~1014 mbar

  5. 潔凈度: Class 10000

  1. 能源要求

  1. 供電電源電壓:220V AC

  2. 正常頻率范圍:49-51Hz

  3. 相電流:有效值小于0.5A220V AC

  4. 功率:小于110 W

  1. 涂裝與表面處理

  1. 涂裝顏色:以黑色為主

  2. 表面處理:鍍化學(xué)鎳、陽極處理、烤漆等

  1. 質(zhì)保與售后服務(wù)

  1. 整機(jī)硬件質(zhì)保期為12個(gè)月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時(shí)免費(fèi)維修,對(duì)非人為造成的各類零件損壞,及時(shí)免費(fèi)更換

  2. 測(cè)控與分析軟件:終身免費(fèi)升級(jí),數(shù)據(jù)分析軟件提供不限量拷貝

  3. 為用戶提供**充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓(xùn)

  4. 提供終身免費(fèi)數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持,為用戶提供不限量樣件材料光學(xué)常數(shù)標(biāo)定與模型庫升級(jí)服務(wù)

  5. 供方在接到故障報(bào)修信息后,供方維修人員4小時(shí)內(nèi)電話響應(yīng),*晚48小時(shí)內(nèi)供方服務(wù)工程師進(jìn)行****維修

     

     

     

     

     

     

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